[发明专利]一种用于晶圆光刻胶烘干处理的设备在审
| 申请号： | 202210089724.2 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114460811A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 廖世容;况诗吟;谢建平 | 申请（专利权）人： | 浙江光特科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人： | 何薇 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆光刻胶烘干处理的设备，包括：一传送机构；多个夹具，沿所述传送机构的移动方向间隔设置在所述传送机构上；沿所述传送机构的移动方向设置有滴胶区、烘干区；一滴胶机构，位于所述滴胶区，布置于所述夹具的上方；一烘干机构，位于所述烘干区，布置于所述夹具的上方，沿所述传送机构的移动方向，所述烘干机构位于所述滴胶机构的下游侧。利用多个夹具夹持固定多个晶圆，利用传送机构带动夹具连续传送。利用滴胶机构向晶圆上滴加光刻胶。在匀胶后，利用烘干机构进行烘干处理。本实施例集合滴胶、烘干一体化处理，可以多个晶圆连续处理，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 圆光 烘干 处理 设备 | ||
【主权项】：
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