[发明专利]一种基于纳米裂纹的纳流控芯片及其加工方法在审
| 申请号： | 202210089959.1 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114433260A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 彭冉;宋涵琼;宋永欣;李刚;潘新祥;李冬青 | 申请（专利权）人： | 大连海事大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 修睿;李洪福 |
| 地址： | 116026 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于纳米裂纹的纳流控芯片及其加工方法。本发明由聚二甲基硅氧烷通道层玻璃基底键合而成，聚二甲基硅氧烷通道层含有微米通道和至少一条纳米通道，纳米通道与微米通道相连，微米通道末端通过储液槽与外界连接，所述储液槽用于纳米流控芯片样品的加入和提取。本发明加工方法简单，可实现单根纳米通道或者多根纳米通道阵列的高效快速加工，且纳米通道的长度、位置、尺寸精确可控。解决了采用传统半导体加工工艺耗时长，成本高，操作复杂等问题。所加工的微纳流控芯片可用于基于纳流控技术的生物传感、化学分析、微纳能源收集等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 纳米 裂纹 纳流控 芯片 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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