[发明专利]一种镁锌铝镍钒合金靶材及其制造方法在审
| 申请号： | 202210090033.4 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114481053A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;张学华;魏铁峰;岳万祥;张欠男;王建峰 | 申请（专利权）人： | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C30/06 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 荣红颖;刘春成 |
| 地址： | 100081 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镁锌铝镍钒合金靶材及其制备方法，合金靶材按原子百分比由以下成分组成：镁锌30‑60％，铝10‑40％、镍10‑40％、钒10‑40％，其中，镁锌中镁和锌的原子百分比为1:1；制备方法包括金属粉末的制备、预压处理和热压处理，得到镁锌铝镍钒合金靶材；其中，金属粉末的制备中，将镁锌源、铝源、镍源和钒源进行混料，得到金属粉末；采用镁锌合金代替常规镁源和锌源，确保生产安全。本发明制备得到的镁锌铝镍钒高熵合金靶材包括Al相、MgZn相、Ni相和V相，具有致密度高、合金化程度适当，无气孔和偏析，无裂纹，加工性能良好，组织均匀等优点，相对密度超过99％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镁锌铝镍钒 合金 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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