[发明专利]倒装型MEMS麦克风及电子设备在审
申请号: | 202210091131.X | 申请日: | 2022-01-25 |
公开(公告)号: | CN114501273A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 张浩 | 申请(专利权)人: | 上海感与执技术有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H05K9/00 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 王丽峰 |
地址: | 201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开一种倒装型MEMS麦克风及电子设备,倒装型MEMS麦克风包括:壳体,壳体包括盖板和底壳,底壳的一端呈敞口设置,盖板盖设于敞口处并与底壳围成空腔;传感组件,传感组件收容于空腔内,传感组件包括倒装于盖板上的集成电路芯片及MEMS芯片,盖板对应MEMS芯片的位置开设有与MEMS芯片连通的声孔;盖板的内外两侧分别设置有相互隔开的第一内屏蔽层和第一外屏蔽层,底壳的内外两侧分别设置有相互隔开的第二内屏蔽层和第二外屏蔽层,其中,第二内屏蔽层与第二外屏蔽层上分别设置有内接地点和外接地点,内接地点和外接地点间隔分布。本发明倒装型MEMS麦克风具有抗射频干扰功能,并可避免干扰信号形成串扰,提高倒装型MEMS麦克风的声学性能。 | ||
搜索关键词: | 倒装 mems 麦克风 电子设备 | ||
【主权项】:
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