[发明专利]一种新型液口距校准方法在审
| 申请号： | 202210091198.3 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114543728A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 杨昊;万军军;李向宇;杨阳 | 申请（专利权）人： | 弘元新材料（包头）有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/16 | 分类号： | G01B21/16;G01B21/00;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人： | 王建文 |
| 地址： | 014000 内蒙古自治区包头*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型液口距校准方法，涉及单晶硅制作技术领域。本发明校准方法包括以下步骤：步骤1：通过测量炉体的尺寸，从而设置对应的热屏盖板工装；步骤2：将热屏下口封起来；步骤3：通过空炉合炉使热屏下降到下限；步骤4：利用籽晶的晶体位置准确到达热屏下沿；步骤5:再通过晶体位置的变化量测量出炉内实际的液口距。本发明的整体方法应用后，操作简单，只需要增加一个热屏盖板工装辅助即可精确测量炉内实际液口距，不增加工时，不增加人工成本，液口距偏差在±1mm以内，集中度高，一致性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 液口距 校准 方法 | ||
【主权项】：
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