[发明专利]用于电弧蒸发装置的阴极弧蒸发源以及电弧蒸发装置在审
| 申请号： | 202210093594.X | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114411101A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 温振伟;沈学忠;朱国朝;李庆超;贺林青;朗清凯 | 申请（专利权）人： | 纳狮新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提出一种用于电弧蒸发装置的阴极弧蒸发源。所述阴极弧蒸发源包括靶材。其中所述靶材的表面包括凹槽结构。所述凹槽结构经配置以限制阴极弧弧斑的移动并限制阴极弧弧斑产生的液滴逸出所述靶材的表面。本申请还提出一种电弧蒸发装置，其包括上述阴极弧蒸发源。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电弧 蒸发 装置 阴极 以及 | ||
【主权项】：
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