[发明专利]一种镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结及其制备方法在审
| 申请号： | 202210094785.8 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114551582A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 金克新;尹航 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | H01L29/267 | 分类号： | H01L29/267;H01L31/0336;H01L43/10;C23C14/08;C23C14/35;C23C14/28 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 屠沛 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镧锶锰氧/掺铝氧化锌柔性薄膜异质结，包括柔性衬底以及至少一层依次铺覆于柔性衬底上的自支撑镧锶锰氧薄膜和自支撑掺铝氧化锌薄膜；或者，包括柔性衬底以及至少一层依次铺覆于柔性衬底上的自支撑掺铝氧化锌薄膜和自支撑镧锶锰氧薄膜。不仅解决前述背景技术中提到的垂直氧化物异质结制备过程中薄膜难于直接生长和转移以及与柔性衬底兼容差等问题，还最大程度避免了直接按顺序外延生长不同薄膜时不同薄膜间晶格失配的问题，对不同材料之间的晶格参数匹配度不做过高要求，提高了柔性薄膜异质结的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镧锶锰氧 氧化锌 柔性 薄膜 异质结 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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