[发明专利]一种低减重单晶硅片制绒添加剂、制备方法及其用途在审
| 申请号： | 202210097320.8 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN114481332A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 王波;刘治州;郭熹;单璐璐 | 申请（专利权）人： | 江苏捷捷半导体新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 南通一恒专利商标代理事务所(普通合伙) 32553 | 代理人： | 梁金娟 |
| 地址： | 226200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种低减重单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，按重量百分比包括如下组分：糖类0.1%‑10%、醇类0.001%‑1%、缓蚀剂0.001%‑1%，分散剂0.05%‑5%、无机盐0.01%‑1%、表面活性剂0.001%‑0.5%、碱0.01%‑1%，余量为水。本发明利用低减重单晶硅片制绒添加剂在单晶硅表面制绒。利用本发明制备的低减重单晶硅片制绒添加剂在单晶硅表面制绒时，减重小，后续高温工序不易出现弓片，有利于薄片和大尺寸单晶硅片的推广；减重低，对应碱的耗量低，可以降低成本；减重低，反应产物硅酸盐产生量低，可以提升制绒添加剂的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低减重 单晶硅 片制绒 添加剂 制备 方法 及其 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏捷捷半导体新材料有限公司，未经江苏捷捷半导体新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210097320.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
