[发明专利]一种集成RPD和PVD的镀膜设备在审
| 申请号： | 202210100228.2 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN114318271A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 杨星;李长江;周文彬;徐全军;王文静 | 申请（专利权）人： | 昆山晟成光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C16/40;C23C16/50;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王士强 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种集成RPD和PVD的镀膜设备。该集成RPD和PVD的镀膜设备主要包括：自动化设备、载板、上料腔室、RPD工艺腔室、移载腔室、PVD工艺腔室以及下料腔室。其中，载板上设置有卡槽，卡槽被配置为放置太阳能电池，上料腔室连通于第一抽真空装置、下料腔室连通于第二抽真空装置。RPD工艺腔室、移载腔室和RPD工艺腔室呈“U型”结构排列，RPD工艺腔室与上料腔室连通，PVD工艺腔室通过移载腔室连通于RPD工艺腔室，且下料腔室连通于PVD工艺腔室。该集成RPD和PVD的镀膜设备结构简单、节约成本，提高了生产效率，能够提升镀膜质量，进而提高太阳能电池的发电效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 rpd pvd 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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