[发明专利]一种底部抗反射涂料组合物及其制备方法和微电子结构的形成方法有效
| 申请号： | 202210102218.2 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN114517023B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 毛鸿超;李禾禾;王静;肖楠;宋里千 | 申请（专利权）人： | 福建泓光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C09D5/00 | 分类号： | C09D5/00;C09D4/00;C09D7/63;G03F7/004;G03F7/09 |
| 代理公司： | 厦门荔信律和知识产权代理有限公司 35282 | 代理人： | 赖秀华 |
| 地址： | 363100 福建省漳*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明属于光刻胶领域，涉及一种底部抗反射涂层组合物及其制备方法和微电子结构的形成方法。所述底部抗反射涂层组合物中含有改性刚性有机笼状化合物和乙烯基醚类化合物以及有机溶剂，所述改性刚性有机笼状化合物为将刚性有机笼状化合物中的部分酚羟基修饰转化为修饰基团所得的化合物，所述修饰基团的通式为‑O‑R |
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| 搜索关键词： | 一种 底部 反射 涂料 组合 及其 制备 方法 微电子 结构 形成 | ||
【主权项】：
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