[发明专利]集成加热功能的半导体激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210102634.2 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN114498286A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 张建伟;周寅利;张卓;陈超;宁永强;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/024 | 分类号： | H01S5/024;H01S5/02335 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种集成加热功能的半导体激光器及其制备方法，在半导体激光器的上表面和/或下表面制备微纳加热丝及加热丝电极，微纳加热丝的两端与加热丝电极连接，加热丝电极向微纳加热丝供电，微纳加热丝对半导体激光器进行加热。本发明能够实现半导体激光器的芯片级加热功能的集成，不会额外增加芯片体积及成本；加热丝通过常规的金属沉积工艺即可制备完成，制备方法简单，兼容性好。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 加热 功能 半导体激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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