[发明专利]光学干涉测量方法及测量系统在审
| 申请号： | 202210103261.0 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN116558439A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 冯胜 | 申请（专利权）人： | 冯胜 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02015;G01B9/02;G01N21/45 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种光学干涉测量方法及测量系统，包括：产生照明光的照明模块，照明光经待测物体作用后形成携带有待测信息的信号光；参考光生成模块，所述参考生成模块包括沿光轴依次设置的第一分光面和第二分光面，所述第一分光面适宜于将所述信号光分为近轴传播的物光和初始参考光，所述第二分光面适宜于对所述初始参考光进行空间滤波以提取所述初始参考光中空间频率为零的部分形成参考光；所述参考光和所述物光合束干涉以形成待测光；采集所述待测光以获得干涉条纹数据的记录模块。所述物光和所述参考光都是从信号光中分出来的，所述物光和所述参考光之间空间距离较近，能够有效改善测量系统的鲁棒性，能够有效改善系统小型化问题。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 干涉 测量方法 测量 系统 | ||
【主权项】：
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