[发明专利]一种等离子体处理装置在审
| 申请号： | 202210104678.9 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN116564781A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 倪图强;王智昊;王凯麟 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 南慧荣;徐雯琼 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种等离子体处理装置，该装置包含：真空反应腔，其内有可移动下电极组件；设置于可移动下电极组件底部的移动接地环；设置于移动接地环下方的固定接地环；移动接地环和固定接地环之间的可伸缩密封组件；导电连接件，用于在移动接地环和固定接地环之间形成射频路径，可伸缩密封组件的外壁到真空反应腔的中心轴的距离小于移动接地环的外径；射频匹配器，其具有射频回路的射频发射端和射频接收端。其优点是：该装置利用导电连接件分担可伸缩密封组件的射频电流承受压力，且可伸缩密封组件与固定接地环竖直部分的距离较远，减弱了固定接地环向可伸缩密封组件的水平方向射频耦合，使可伸缩密封组件伸缩时，也不会对射频回路造成太大影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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