[发明专利]一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法在审
| 申请号： | 202210105394.1 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114606497A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 夏敏;宋德生;余德福;肖晋宜;丁德才 | 申请（专利权）人： | 斯瑞尔环境科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25B1/04;C22B3/26;C22B3/44 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 邓聪权 |
| 地址： | 516267 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法，主要包括(1)、将产线三氯化铁蚀刻液溢流至蚀刻废液储存桶；(2)、蚀刻废液储存桶与萃取槽连接，循环萃取，萃取后的水相低铜蚀刻液输送至氧化槽，经氧化后低铜蚀刻液返回至产线；(3)、油相进入水洗段，经水洗后的油相中通入硫酸溶液进行反萃，反萃后的水相通入电解槽中进行电解，电解产生氧气通入步骤(2)中的氧化槽中；(4)、反萃后的油相通入萃取槽重新进行萃取流程。本发明的整体工艺流程不引入任何的氧化剂，可以大大缩减成本，电解期间不产生氯气带来的不安全因素。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氯化铁 蚀刻 处理 再生 循环 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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