[发明专利]调整刻槽宽度装置在审
| 申请号： | 202210105718.1 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114406482A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 陶为银 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/064;B23K26/073 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 张春;郭明月 |
| 地址： | 450001 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种调整刻槽宽度装置，包括激光器，激光器发出激光由扩束镜将光斑放大，放大后依次经过光闸、玻片、偏振分束立方、光阑、反光镜组进入光学调整系统，经调整后依次通过DOE镜片和聚焦系统投射在加工平台上，DOE镜片将光束成形为矩形光；所述加工平台可以沿X轴、Y轴移动以及能够绕自身转动实现线性加工。本发明公开的一种调整刻槽宽度装置，激光通过扩束、修改和整形后进入到反光镜组，由反光镜组对光路进行调整，能够准确的通过DOE镜片，能够将激光整形为矩形光，能够使得晶圆在刻槽时受光均匀，调整加工平台的角度，能够根据需要刻槽的宽度，调整矩形光束在加工平台上的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 调整 宽度 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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