[发明专利]信息处理装置、信息处理方法、物品制造系统和方法在审
| 申请号： | 202210113176.2 | 申请日： | 2022-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN114859665A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 藤原广镜 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了信息处理装置、信息处理方法、物品制造系统和方法。信息处理装置包括：取得单元，被配置成取得如下信息，该信息包括在第一定时处由被配置成执行基板处理的基板处理装置对基板进行处理的处理结果，与在第一定时之后的第二定时处在基板处理装置中发生的事件有关的事件信息，以及在第二定时之后的第三定时处由基板处理装置对基板进行处理的处理结果；以及显示控制单元，被配置成基于由取得单元取得的信息执行控制以使得显示设备显示包括在第一定时处的处理结果和在第三定时处的处理结果的处理结果的按时间顺序排列的图表，其中，显示控制单元执行控制以在图表上以叠加方式显示指示出第二定时的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 信息处理 装置 方法 物品 制造 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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