[发明专利]基于高Q值微腔激光器的CRDS气体探测装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于高Q值微腔激光器的CRDS气体探测装置及方法。本发明的探测装置包括泵浦激光器、高Q值微腔波导片、TEC制冷片、真空热沉金属腔体、滤波器、光隔离器、声光调制器、透镜、高反镜气体腔、温压传感装置、光电探头和计算机。本发明的探测方法是高Q值微腔激光器输出激光波长扫描气体特征吸收谱线λ附近的整个吸收光谱，就可获得待测气体的整体吸收曲线，通过对比数据库中标准吸收谱线，并考虑气体腔内部温度、压力信息带来的吸收谱线修正，获得待测气体的浓度信息。本发明利用了高Q值微腔激光器输出超窄线宽激光容易耦合进入高Q值光学谐振腔及其温控波长调谐的特性，提升了CRDS气体探测灵敏度和探测极限。