[发明专利]支撑片、保护膜形成用复合片及装置的制造方法在审
| 申请号： | 202210114420.7 | 申请日： | 2022-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN115109531A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 山本大辅 | 申请（专利权）人： | 琳得科株式会社 |
| 主分类号： | C09J7/24 | 分类号： | C09J7/24;C09J7/30;C09J7/40;C09J133/08;H01L21/56;H01L23/29;H01L23/31;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够兼顾片的拉出不良与隔着基材观察时的激光打标的辨认性的支撑片、具备该支撑片与保护膜形成膜的保护膜形成用复合片、以及半导体装置等装置的制造方法。所述支撑片具有基材与形成在基材的一个主面上的粘着剂层，基材的未形成粘着剂层的主面上的4.91mm×4.90mm的四边形区域的算数平均高度Sa1大于0.50μm，未形成粘着剂层的主面在入射角为60°时的光泽度值为20以上。此外，所述保护膜形成用复合片具备该支撑片与保护膜形成膜。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 保护膜 形成 复合 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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