[发明专利]一种基于金属-介质-金属纳米圆柱结构阵列完美吸收体的折射率传感器在审
申请号: | 202210118478.9 | 申请日: | 2022-02-08 |
公开(公告)号: | CN114609084A | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
发明(设计)人: | 林远海;董艺菲;王俊生 | 申请(专利权)人: | 大连海事大学 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 姜玉蓉;李洪福 |
地址: | 116026 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明提供一种基于金属‑介质‑金属纳米圆柱结构阵列完美吸收体的折射率传感器,包括基底层和设置在基底层上的完美吸收体;完美吸收体包括金属薄膜层、介质薄膜层以及多个金属‑介质‑金属纳米圆柱结构;金属薄膜层设置在基底层上,介质薄膜层设置在金属薄膜层上,多个金属‑介质‑金属纳米圆柱结构设置在介质薄膜层上;每个金属‑介质‑金属纳米圆柱结构包括从下至上依次排布的金纳米层、介质隔离层、金纳米层。本发明将完美吸收体与金属‑介质‑金属共振结构相结合,实现超窄带宽的光学特性。本发明具有高灵敏度、高品质因数等优良性能,同时因为是微纳级别的小体积结构,克服了传统光学折射率传感器通常存在的体积过大、应用范围有限等问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 金属 介质 纳米 圆柱 结构 阵列 完美 吸收体 折射率 传感器 | ||
【主权项】:
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