[发明专利]一种基于金属-介质-金属纳米圆柱结构阵列完美吸收体的折射率传感器在审

专利信息
申请号: 202210118478.9 申请日: 2022-02-08
公开(公告)号: CN114609084A 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 林远海;董艺菲;王俊生 申请(专利权)人: 大连海事大学
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 姜玉蓉;李洪福
地址: 116026 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明提供一种基于金属‑介质‑金属纳米圆柱结构阵列完美吸收体的折射率传感器,包括基底层和设置在基底层上的完美吸收体;完美吸收体包括金属薄膜层、介质薄膜层以及多个金属‑介质‑金属纳米圆柱结构;金属薄膜层设置在基底层上,介质薄膜层设置在金属薄膜层上,多个金属‑介质‑金属纳米圆柱结构设置在介质薄膜层上;每个金属‑介质‑金属纳米圆柱结构包括从下至上依次排布的金纳米层、介质隔离层、金纳米层。本发明将完美吸收体与金属‑介质‑金属共振结构相结合,实现超窄带宽的光学特性。本发明具有高灵敏度、高品质因数等优良性能,同时因为是微纳级别的小体积结构,克服了传统光学折射率传感器通常存在的体积过大、应用范围有限等问题。
搜索关键词: 一种 基于 金属 介质 纳米 圆柱 结构 阵列 完美 吸收体 折射率 传感器
【主权项】:
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