[发明专利]一种基于带宽增强型FBAR滤波器的制造方法有效
| 申请号： | 202210123142.1 | 申请日： | 2022-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN114157259B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 深圳新声半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518110 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种基于带宽增强型FBAR滤波器的制造方法。在基体上预先刻蚀出呈对称排布的空腔矩阵；在所述空腔矩阵内通过沉积二氧化硅，并涂覆铌酸锂晶体薄膜，构成布拉格反射层；在所述布拉格反射层上方设置呈盖状的底电极，覆盖每个空腔，并在所述底电极上设置有与所述底电极材质相同的支撑柱；在相邻的底电极之间进行氧化锌直流磁控溅射，构成氧化锌层；其中，所述氧化锌层的填充高度不超过所述盖状的底电极的上盖面；在所述氧化锌层上进行制备介电层；其中，所述介电层通过氮化铝沉积填充构成；在所述介电层上通过直流磁控溅射镀膜的方式构成厚膜层，并在所述厚膜层上进行光刻和蚀刻，构成顶电极。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 带宽 增强 fbar 滤波器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳新声半导体有限公司，未经深圳新声半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210123142.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
