[发明专利]版库装置、版库系统及姿态调整方法有效
| 申请号： | 202210127135.9 | 申请日： | 2022-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN114476669B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 赵东雷;关宏武;王浩楠;林继柱;刘颖 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;B65G43/08;B65G47/24 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 | 代理人： | 宋家会 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及版库存储技术领域，尤其是涉及一种版库装置、版库系统及姿态调整方法，版库装置包括Y向调整构件、RxRy调整构件、Rz调整构件、RxRy调节组件、Rz调节组件、X向调节组件及版盒，Y向调整构件、RxRy调整构件及Rz调整构件从下向上顺次设置；Y向调整构件与Rz调整构件通过RxRy调节组件相连，用于调节及锁定Y向调整构件及Rz调整构件的Rx和Ry；Rz调整构件与RxRy调整构件及Y向调整构件均通过Rz调节组件相连，用于调节及锁定Rz调整构件的Rz；Rz调整构件与版盒通过X向调节组件相连，用于调节及锁紧版盒的X向位置。可见，本装置可调节的自由度多、适应性好，调整过程简单、省力、精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 系统 姿态 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所），未经北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210127135.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种核酸检测方法
- 下一篇：一种钛掺杂氧化镍电致变色薄膜的溶剂热制备方法
