[发明专利]一种红外滤光片及其制备方法和在海洋气体遥感探测器中的应用在审
| 申请号： | 202210128631.6 | 申请日： | 2022-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN114545543A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 范鹏;姜海;熊峰;刘俞含 | 申请（专利权）人： | 湖南麓星光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;C23C14/10;C23C14/16;C23C14/34;G01N21/3504;G01N21/01 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 410004 湖南省长沙市天心区新岭路6*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种红外滤光片及其制备方法和在海洋气体遥感探测器中的应用，红外滤光片由Si基底及其表面的镀膜层构成；其中，镀膜层由多层SiO镀膜层和Si镀膜层交替叠加构成。通过在Si基底表面通过离子溅射镀膜依次交替镀制SiO镀膜层和Si镀膜层，即得具有2.8μm波段、2.35μm波段及1.59μm波段三通道的红外滤光片，该红外滤光片能够实现一种或多种气体检测，检测过程中无需更换其他红外滤光片，大大降低了遥感探测装置体积和重量，降低成本，且该红外滤光片能实现半高宽为100nm，峰值透过率达95％以上，截止区透过率小于0.1％，大大提高了检测信噪比，提高测量精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 滤光 及其 制备 方法 海洋 气体 遥感 探测器 中的 应用 | ||
【主权项】：
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