[发明专利]尺寸测试结构及方法在审
| 申请号： | 202210133747.9 | 申请日： | 2022-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN114649303A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 刘福海;许文山;王欣;汪锋;石继龙 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 徐雯;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种尺寸测试结构及方法，其中，所述尺寸测试结构用于测试第一类浅沟槽隔离(STI)结构的尺寸，所述尺寸测试结构包括：位于衬底中的晶体管的源极和漏极；位于所述晶体管的源极及漏极之间的所述第一类STI结构；所述第一类STI结构包括氧化物层，所述氧化物层的顶面高于所述衬底的表面；位于所述氧化物层顶面上的栅极结构；以及位于所述源极与所述漏极之间的沟道区域。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
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