[发明专利]一种原子力显微镜探针的品质因数调整方法和装置有效
| 申请号： | 202210134118.8 | 申请日： | 2022-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN114545031B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 丁喜冬;罗永震;杨天保;谢伟广;粟涛;陈弟虎;陈建 | 申请（专利权）人： | 中山大学;暨南大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38;G01Q40/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 万仁彦 |
| 地址： | 510300 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种原子力显微镜探针的品质因数调整方法和装置，所述方法通过获取第一曲线和第二曲线；第一曲线为根据探针的品质因数，以及第一音叉臂的第一附加物和第二音叉臂的第二附加物的质量差值得到；第二曲线为根据质量差值以及第二附加物的腐蚀时间得到；获取探针的当前品质因数，并根据当前品质因数和第一曲线，得到当前质量差值；根据当前质量差值和第二曲线，得到第二附加物的目标腐蚀时间；根据目标腐蚀时间对第二附加物进行处理，得到目标探针。该方法通过多次腐蚀微调，使第二附加物的质量非常接近第一附加物，从而起到提高探针品质因数的作用。探针是原子力显微镜的一个重要部件，探针品质因数的提高对于原子力显微镜具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子 显微镜 探针 品质因数 调整 方法 装置 | ||
【主权项】：
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