[发明专利]基于倾斜衬底新型台面的垂直腔面发射激光器在审
| 申请号： | 202210143285.9 | 申请日： | 2022-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN114530761A | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 孟红玲;贾晓卫 | 申请（专利权）人： | 中科启迪光电子科技（广州）有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/02 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 胡乐 |
| 地址： | 510535 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于倾斜衬底新型台面的垂直腔面发射激光器，由下至上依次包括GaAs基倾斜衬底、N型金属欧姆接触层、下层DBR、有源区、上层DBR和P型金属欧姆接触层，下层DBR、有源区、上层DBR和P型金属欧姆接触层刻为葫芦形谐振腔，谐振腔周围和垂直腔面发射激光器顶部镀有P型电极，垂直腔面发射激光器底部在GaAs基倾斜衬底上生长N型电极，谐振腔外围通过二氧化硅层包覆。本发明提供的基于倾斜衬底新型台面的垂直腔面发射激光器通过改变衬底结构和激光器台面结构，从而优化激光器的偏振特性和模式特性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 倾斜 衬底 新型 台面 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】：
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