[发明专利]一种检测异形靶材尺寸的检具及检测方法在审
| 申请号： | 202210145198.7 | 申请日： | 2022-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN114485508A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;陈文庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 韩承志 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种检测异形靶材尺寸的检具及检测方法，所述异形靶材整体呈锅形，所述检具呈板状，包括内检具和外检具两部分，所述内检具的形状与异形靶材内部纵截面的形状相匹配，所述外检具为一侧开口形成凹槽的板状结构件，所述外检具中凹槽的形状与异型靶材外部纵截面的形状相匹配；所述内检具和外检具独立设置，所述内检具的尺寸小于外检具中凹槽的尺寸。本发明所述检具通过内检具和外检具两部分独立结构的设计，使其与异形靶材的内、外部结构相匹配，从而能够对该类靶材的尺寸进行精确检测，检测速率快，效率高，相比传统的三坐标测量机检测时检测时间明显缩短；所述检具结构简单，检测方法操作简便，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 异形 尺寸 方法 | ||
【主权项】：
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