[发明专利]一种薄膜式尾气氧传感器芯片制备用烘干叠合装置

摘要

本发明公开了一种薄膜式尾气氧传感器芯片制备用烘干叠合装置，包括基座，所述基座的顶面固定连接有储水箱，且储水箱的一侧外表面通过法兰盘固定连通有进水管道和出水管道，所述储水箱的顶面固定连接有烘干机构，所述储水箱的一侧内表面固定连接有加热器，所述加热器的底面固定连接有支撑座，且支撑座的底面与基座的顶面固定连接，所述基座的顶面固定连接有控制系统，所述控制系统的一侧外表面滑动连接有支撑架，且支撑架的一侧外表面与基座的顶面固定连接，所述基座的顶面固定连接有支撑块，且支撑块与烘干机构相适配，使得氧化锆基片在叠合过程中的烘干和叠合工序同时自动化进行，使得提高工作的效率。