[发明专利]一种石英坩埚水冷模有效
| 申请号： | 202210152130.1 | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN114477734B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 袁新;周勇;吴伟华;方志远 | 申请（专利权）人： | 浙江美晶新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B19/06 | 分类号： | C03B19/06;C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 周晓 |
| 地址： | 313000 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了石英坩埚水冷模，包括：内部用于放置石英坩埚钢模的筒体，石英坩埚钢模外壁与筒体的内壁形成空腔，同时筒体底部的设有连通上述空腔的抽气通孔，抽气通孔用于将空腔内部抽成真空环境。上述筒体的顶部设置有环形冷却通道，环绕筒体的内壁设置有螺旋冷却水管，螺旋冷却水管同时连通环形冷却通道与筒体底面；可通过筒体底面向螺旋冷却水管内部注入冷却水，冷却水环绕流经螺旋冷却水管和环形冷却通道，最终从筒体的底面流出，利用热对流冷却带走石英坩埚钢模的热量；采用螺旋冷却水管可将其制冷面积增大，从而增强冷却能力，且螺旋冷却水管的修改和调整更为便捷，可适应多种工况，降低使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 坩埚 水冷 | ||
【主权项】：
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