[发明专利]一种光刻用光纤束以及光刻机在审
| 申请号： | 202210152726.1 | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN114488716A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 李西军 | 申请（专利权）人： | 西湖大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B6/02 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 贾然 |
| 地址： | 310024 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供一种光刻用光纤束以及光刻机，所述光刻用光纤束能够至少接收波长不同的曝光高斯光束和退激发高斯光束，其至少包括一根光刻光纤，所述光刻光纤包括用于传输光束的光纤芯，在所述光纤芯的外侧包围设置光纤包层，在所述光纤包层的入射端处设置螺旋相位结构，所述螺旋相位结构用于使得所述退激发高斯光束转换形成甜甜圈状的结构光光束，在所述光纤包层的出射端的外侧设置透镜结构。本公开实施例能够将曝光用光能量直接从光源传递到光刻胶表面，不需要透镜和透镜组，系统易于安装、占据空间小、成本和维护成本也降低；利用单根光纤可以实现至少两束波长不同的光束的同时和同轴传播，大大降低双光束光刻技术空间透镜组调节的技术难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 用光 以及 | ||
【主权项】：
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