[发明专利]一种纤维布匹表面初步金属化处理装置及处理方法

摘要

本发明涉及薄膜技术领域，尤其是一种纤维布匹表面初步金属化处理装置及处理方法；包括腔室，所述腔室内设置若干组中频孪生对靶，每组中频孪生对靶中的靶材正对放置，且分别放置于待镀布品两侧，每组中频孪生对靶之间形成等离子区域，每组中频孪生对靶后设置有一组水冷板，每组水冷板分别放置于待镀布品两侧；所述每组中频孪生对靶接中频磁控溅射电源，互为阴阳极；同样的溅射功率和生产速度，产品表面镀层厚度仅普通直流磁控溅射镀层一半，约10‑20nm，产品表面电阻却大幅降低，从兆欧级降至千欧级，从而可以提高后续电镀施镀效率；同时也节约了靶材和能耗，降低了生产成本。