[发明专利]一种温压一体的传感器封装结构有效
申请号: | 202210157966.0 | 申请日: | 2022-02-21 |
公开(公告)号: | CN114216519B | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 陈君杰;何江涛;丁维培;申彦娇 | 申请(专利权)人: | 深圳安培龙科技股份有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;G01L9/04;G01K7/22;G01K7/18 |
代理公司: | 广东金穗知识产权代理事务所(普通合伙) 44852 | 代理人: | 钟文华 |
地址: | 518118 广东省深圳市坪山区坑*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种温压一体的传感器封装结构,包括固连于金属组件,金属组件的底部向外延伸出一封闭式流体通道和一开口式流体通道,于开口式流体通道向上延伸的端口上方固连有一块金属板,MEMS压力芯片通过玻璃粉高温烧结之后固连于金属板上,柔性电路板安装于金属板的上方,ASIC调理芯片固连于柔性电路板上,封闭式流体通道向外延伸出一段距离,其端口底部内设置有温度传感器元件,并使用导线连接温度传感器元件至柔性电路板上,实现电连接;MEMS压力芯片通过金丝键合的方式与柔性电路板实现电性连接。适应于传感器封装技术领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 一体 传感器 封装 结构 | ||
【主权项】:
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