[发明专利]一种自动修调环形基板电阻的装置及操作方法有效
| 申请号： | 202210163688.X | 申请日： | 2022-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN114566340B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 杨小爱;袁忠文;袁海;王博哲;王明琼;汪元嘉;吴少华 | 申请（专利权）人： | 西安微电子技术研究所 |
| 主分类号： | H01C17/22 | 分类号： | H01C17/22;G01D5/34 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 白文佳 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动修调环形基板电阻的装置及操作方法，通过在承片板上装载环形基板，在修调机原有承片台的带动下将环形基板运送至工作位，下压探针卡至第一组电阻，修调第一组电阻后探针卡装校台抬起探针卡，信号灯灭，分度信号传感器将灯灭的信号作为旋转承片台的旋转信号发送给CPU，CPU控制环形基板的第二组电阻转至修调第一组电阻位置，信号灯亮，下压探针卡至第二组电阻，修调第二组电阻直至修调完15组电阻，修调机原有承片台带动环形基板退出，光电漫反射传感器将采集到的信号作为旋转承片台的复位信号发送给CPU，CPU控制旋转承片台恢复至初始位置，实现环形基板电阻的自动修调，在半导体混合集成电路领域具有应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 环形 电阻 装置 操作方法 | ||
【主权项】：
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