[发明专利]一种激光等离子体极紫外光源靶材的优化方法在审
| 申请号： | 202210166835.9 | 申请日： | 2022-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN114442441A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 徐永兵;陈笑;黎遥;钟文彬;严羽;侯鉴波;何亮;陆显扬 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种激光等离子体极紫外光源靶材优化方法，通过电子束蒸发的方式在产生激光等离子体的靶材衬底上生长锡薄膜，形成有限质量的固体薄膜靶，通过控制锡层的厚度来控制激光单次作用所消耗的锡量；当高能量脉冲激光与靶材作用产生等离子体时，通过控制薄膜靶的锡量进而优化极紫外光产生的效率和碎屑的产生。通过控制薄膜厚度调整靶材表面生长的锡燃料的量，使其在单次激光脉冲下，光斑作用下的锡可以充分利用，进而可以有效提高激光转化效率和靶材工作物质利用率，并减少碎屑对光学系统的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 等离子体 紫外 光源 优化 方法 | ||
【主权项】：
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