[发明专利]透射电子显微镜样品的制备方法在审
| 申请号： | 202210167629.X | 申请日： | 2022-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN114858828A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 蓝剑越;孔飞;易奥 | 申请（专利权）人： | 厦门士兰集科微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N23/20;G01N23/20008;G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 361012 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种透射电子显微镜样品的制备方法，将待制样的芯片样品及透射电子显微镜载网置入聚焦离子束设备内；从所述芯片样品中切割出包含目标膜层的样片，所述目标膜层上还覆盖有非目标膜层；将所述样片转移并固定至所述透射电子显微镜载网上，沿所述样片中膜层堆叠的方向切除所述非目标膜层的部分厚度；沿垂直于所述样片中膜层堆叠的方向减薄所述样片的表面，直至形成透射电子显微镜样品。本发明由于在减薄所述样片的表面之前将所述非目标膜层的部分厚度切除了，防止减薄所述样片的表面时导致所述样片扭曲变形。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 电子显微镜 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
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