[发明专利]一种基于三维特征强化的OPC方法在审
| 申请号： | 202210169316.8 | 申请日： | 2022-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN114488719A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 彭飞;杨泽宇;宋毅 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06T19/20;G06T7/13;G06T5/00 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 胡琦旖 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于光学临近校正技术领域，公开了一种基于三维特征强化的OPC方法。本发明通过局域优化解决了现有优化方法对整体优化导致单次计算量大的问题；针对三维高度特征的局域优化方法对曝光剂量分布进行优化，解决了现有适量矩阵优化方法中高度优化缺失的问题；同时能够自动寻找最优阈值，解决了灰度梯度阈值人为无法设置最优值的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 三维 特征 强化 opc 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉大学，未经武汉大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210169316.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多扁方轴加工新工艺
- 下一篇：一种数据转发装置、电源模块及数据转发方法
