[发明专利]一种薄膜传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210173379.0 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN114659542A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 刘欣;常飞;杜炳纯;张殿德 | 申请（专利权）人： | 森霸传感科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/14 | 分类号： | G01D5/14 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 余志军 |
| 地址： | 473300*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜传感器及其制备方法，涉及传感器技术领域。传感器包括薄片基材，所述薄片基材的表面设置有传感电极圈，所述薄片基材的边缘位置固定连接有裙带膜，所述裙带膜的两侧固定连接有封边垫，所述封边垫的顶部开设有定位槽，所述封边垫的侧面固定连接有定位片，所述定位片的表面开设有安装孔。该薄膜传感器，通过在薄膜基材的边缘设置裙带膜，并在裙带膜的表面设置封边垫，能够起到封边以及便于压紧的作用，通过设置定位槽能够便于进行安装定位，并且能够起到隔水隔尘的作用，通过设置定位片和定位孔能够便于进行安装预定位，能够防止在安装时薄膜本体位置不易固定，通过设置防腐蚀薄膜能够对传感电极圈起到保护的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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