[发明专利]一种激光器能量测量装置在审
| 申请号： | 202210173594.0 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN114659624A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 刘广义;江锐;徐向宇;苏国强;赵江山;冯泽斌;詹绍通 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/04;H01S3/00 |
| 代理公司： | 北京清源汇知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11644 | 代理人： | 冯德魁 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开一种激光器能量测量装置。其中所述激光器能量测量装置包括：沿激光放电腔出光方向依次设置的第一匀光组件、光空间分布调节元件和光电探测器；所述光空间分布调节元件用于对照射在所述光电探测器上的激光进行光强空间调节。本申请的方案通过光空间分布调节元件，减小光束分布不均匀、指向和位置稳定性对能量测量结果的影响，提高激光器的能量稳定性，解决激光器光束不均匀、指向和位置稳定性变化带来的能量测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光器 能量 测量 装置 | ||
【主权项】：
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