[发明专利]具有TMD结构的MEMS设备在审
| 申请号： | 202210177081.7 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN115002632A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | A·G·奥纳兰;M·菲尔德纳;D·斯特雷尤斯尼格 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了MEMS设备，该MEMS设备具有TMD结构。MEMS设备(10)包括：锚定到基板(14)的悬挂电极结构(12；13)，该MEMS设备(10)具有MEMS谐振模式；以及TMD(调谐质量阻尼)结构(16)，其中悬挂电极结构(12；13)的一部分被布置成形成具有TMD弹簧元件(16‑2)和TMD质量元件(16‑1)的TMD结构(16)，用于提供抵消MEMS谐振模式的TMD谐振模式。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 tmd 结构 mems 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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