[发明专利]一种用于EUV光源的液滴锡靶供应装置在审
| 申请号： | 202210178438.3 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN114706276A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 焦志润;宋素雅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 修睿;李洪福 |
| 地址： | 116000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于EUV光源的液滴锡靶供应装置。本发明包括连接在一起的第一端盖板、第二端盖板和置于二者内部的声学产生及传播装置，第一端盖板上集成有存储液态锡的腔室，腔室的输出端设有小孔，第一端盖板的输出端连接有小孔盖板，存储液态锡的腔室连接有供料管，小孔盖板上设有供锡液滴流流动的小孔，第一端盖板上还连接有集成加压装置和温度调节装置，集成加压装置用于向存储液态锡的腔室中加压，温度调节装置用于调节第一端盖板的温度，声学产生及传播装置的输出端与所述存储液态锡的腔室相连，使其输出形成稳定的锡液滴靶，声学产生及传播装置配套有主动制冷装置。本发明解决了声学产生装置无法在高温下工作的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 euv 光源 液滴锡靶 供应 装置 | ||
【主权项】：
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