[发明专利]一种极紫外光源的液滴锡靶供应装置在审
| 申请号： | 202210179462.9 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN114637170A | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 焦志润;王黑龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 修睿;李洪福 |
| 地址： | 116000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种极紫外光源的液滴锡靶供应装置。本发明包括装置壳体和设置于所述装置壳体内的声学产生及传播装置，本发明在保证高稳定性和高效率的条件下，将锡液体局部加热部分与声学产生装置分隔开，解决了声学产生装置无法在高温下工作的问题。本发明声学产生装置在锡滴产生装置内部独立安装，可以极大程度上保证外界的微扰减少至最小。此外，小孔的更换非常容易，可以快速在装置外部完成。利用此发明即可实现锡滴极高的空间稳定性极和好的高频重复性，从而为LPP光源提供良好的锡滴束源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 光源 液滴锡靶 供应 装置 | ||
【主权项】：
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