[发明专利]一种易于维护的EUV光源液滴锡靶供应装置在审
| 申请号： | 202210179471.8 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN114690588A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 焦志润;王浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 修睿;李洪福 |
| 地址： | 116000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种易于维护的EUV光源液滴锡靶供应装置。本发明包括阀体和与阀体输出端相连的声学产生及传播装置，阀体的两端分别设有第一端盖板和第二端盖板，阀体内部作为靶材腔室，第一端盖板上设有与所述靶材腔室相连的小孔，声学产生及传播装置的输入端连接靶材腔室，阀体的外部可拆卸地套接有温度调节装置，第二端盖板上设有连接阀体内部的加压管路，加压管路用于向靶材腔室加压，得到连续的锡喷射流，温度调节装置用于为阀体加热温度，声学产生及传播装置用于将经过其的连续的锡喷射流变为稳定的锡液滴流，声学产生及传播装置配套有用于为其制冷温的主动制冷装置。本发明方便的更换阀体，可实现锡滴极高的空间稳定性和极好的高频重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 易于 维护 euv 光源 液滴锡靶 供应 装置 | ||
【主权项】：
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