[发明专利]挥发性有机化合物的去除系统及其方法在审
| 申请号： | 202210179916.2 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN114988625A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 赖彦程;张博渊;张丁兴;陈能泉;枫祥儀 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/10 | 分类号： | C02F9/10;G06K9/62;G06N20/20;C02F101/30 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种挥发性有机化合物的去除系统及其方法，挥发性有机化合物(volatile organic compound；VOC)去除系统从半导体制程的废液中去除VOC。VOC去除系统量测当前VOC去除参数且将其传递至经机器学习过程训练后的分析模型。分析模型基于当前VOC去除参数预测未来VOC去除效率。分析模型基于当前VOC去除参数及预测的未来VOC去除效率产生调整参数。控制系统基于调整参数调整VOC去除系统。VOC去除系统能从制程气体中有效去除VOC。 | ||
| 搜索关键词： | 挥发性 有机化合物 去除 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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