[发明专利]可视化的真空阴极磁过滤装置有效
| 申请号： | 202210184605.5 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN114457310B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 曹时义;周敏;王俊锋 | 申请（专利权）人： | 广东鼎泰高科技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/52 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 王志 |
| 地址： | 523071 广东省东莞市厚*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明一种可视化的真空阴极磁过滤装置，包括管道，所述管道上开设至少一个第一镶嵌口，所述第一镶嵌口上嵌设有透明板，所述透明板沿管道长度方向延伸，所述透明板与第一镶嵌口相对密封固定，所述透明板呈双层透明结构，所述透明板包括内层透明板和外层透明板，所述内层透明板与所述外层透明板之间的空间形成第一冷却水通道，所述外层透明玻璃板上设有进水口和出水口，所述进水口和出水口与所述第一冷却水通道连通。该设计通过在管道上设计透明板，可以更好地观察和测量实验参数对靶面弧斑运动、金属或气体离化率、等离子体密度、金属离化能量、涂层性能的定向定量分析，有利于改进和更新工艺设计。 | ||
| 搜索关键词： | 可视化 真空 阴极 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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