[发明专利]一种碳化硅晶体生长用输送系统有效
| 申请号： | 202210184904.9 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN114232106B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 陆敏;刘付冠;郑红军 | 申请（专利权）人： | 常州臻晶半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 钮云涛 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市武进国家高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于输送系统技术领域，具体涉及一种碳化硅晶体生长用输送系统，本碳化硅晶体生长用输送系统包括：第一反应釜、丝杆机构、活动盘、安装盘、破碎机构、搅拌机构和输送机构；其中活动盘在纵向移动过程中在丝杆机构上转动，即安装盘带动破碎机构对储存腔内块状物料进行破碎；安装盘带动搅拌机构对储存腔内物料进行搅拌，并使物料朝向破碎机构收拢；本发明中安装盘不仅能够转动还能纵向移动，从而实现搅拌机构将物料搅拌均匀，破碎机构能够起到研磨物料的作用，在第二反应釜内通过降低助溶剂的粘度或增加籽晶杆转速来实现碳溶解的有效溶解及输运，并通过对籽晶生长面浸润处理或者降低生长气压来解决气泡夹杂物问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体生长 输送 系统 | ||
【主权项】：
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