[发明专利]一种抛光液、磷化铟抛光装置及方法有效
| 申请号： | 202210199935.1 | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN114559302B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 路家斌;骆应荣;熊强;阎秋生;王新汉;刘文涛 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B57/00;C09G1/02 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 牛念 |
| 地址： | 510090 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于抛光技术领域，更具体地，涉及一种抛光液、磷化铟抛光装置及方法，其中抛光液包括基液以及混合于基液中的金属粉末、磨料；金属粉末与磨料的质量比为1:2～1:4，金属粉末的金属性弱于铟。本发明中一方面通过金属接触腐蚀反应将磷化铟表面氧化，从而降低磷化铟表面的硬度，其避免了使用酸性物质或碱性物质生成有毒气体危害工作人员安全或污染环境，同时还避免了抛光液对抛光装置的腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 磷化 装置 方法 | ||
【主权项】：
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