[发明专利]电极组件和半导体工艺设备在审
| 申请号： | 202210202124.2 | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN114695061A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 余江浦 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 高东 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种电极组件和半导体工艺设备，涉及半导体制造技术领域。该电极组件包括线圈和匹配器，线圈和匹配器至少一者的连接端上设有导电弹片，且线圈通过导电弹片选择性的与匹配器相连。该方案能解决半导体工艺设备合腔困难的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 组件 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
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