[发明专利]热式流量传感器及气体流量检测方法在审
| 申请号： | 202210203610.6 | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN114577288A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 杨绍松;刘同庆;曹锦云;柳雪 | 申请（专利权）人： | 无锡芯感智半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/69 | 分类号： | G01F1/69 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 214100 江苏省无锡市滨湖区建筑*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种热式流量传感器及气体流量检测方法，所述热式流量传感器包括：测流单元，形成在基底的表面，所述测流单元包括依次分立布置的上游热敏元件、加热电阻和下游热敏元件；补偿单元，形成在所述基底的表面，所述补偿单元包括位于所述测流单元上游的上游环境电阻及和位于所述测流单元下游的下游环境电阻；所述加热电阻用于通电加热所述上游热敏元件和所述下游热敏元件；所述加热电阻还用于通电发热，以通过流动气体加热所述上游环境电阻和所述下游环境电阻中的一个。本申请的热式流量传感器可以克服现有热式流量传感器无法对反向气流进行温度补偿的缺陷，同时，可以进行自检测判断，验证传感器的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 气体 流量 检测 方法 | ||
【主权项】：
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