[发明专利]一种离子泵隔振装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202210203789.5 | 申请日： | 2022-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN114562621A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张旭;秦峰 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | F16L27/11 | 分类号： | F16L27/11;F16L27/10;H01J41/12;H01J37/28;H01J37/26 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 廉海涛 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离子泵隔振装置及其使用方法，以解决现有技术中离子泵振动会对带电粒子光学设备性能产生负面影响的技术问题，其用于衰减和隔离离子泵与带电粒子光学设备之间的振动，包括隔振连接器和连接于所述隔振连接器两端的密封法兰，两个所述密封法兰分别用于与所述离子泵和带电粒子光学设备连接，通过两个密封法兰分别连接离子泵和带电粒子光学设备，两个密封法兰之间通过隔振连接器隔开，可大幅衰减离子泵振动传导到带电粒子光学设备主体的振动幅度，隔离了离子泵的振动，从而在最大程度上避免了离子泵振动对带电粒子光学设备性能的负面影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 泵隔振 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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