[发明专利]基于肖特基二极管和紫外LED的微型压觉传感器及制备方法

摘要

本发明提供一种基于肖特基二极管和紫外LED的微型压觉传感器及制备方法，所述基于肖特基二极管和紫外LED的微型压觉传感器的结构左右对称，包括一个紫外LED和一个肖特基二极管探测器。本发明利用MEMS技术可以在同一块芯片上集成光电式压觉传感器的所有部件，使得最终得到的器件体积小、重量轻，并且可以通过批量化生产降低生产成本，有利于本发明的应用与推广；本发明采用光电式传感原理，具有灵敏度高、响应速度快及抗电磁干扰能力强的优点；本发明的尺寸可以根据制备的工艺能力进行缩放，通过大规模高密度的集成，从而实现高分辨率的压觉传感功能。