[发明专利]刻蚀终点检测方法及装置在审
| 申请号： | 202210204493.5 | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN114582700A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 常晓阳;王新河;林晓阳;赵巍胜 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/66;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 叶明川;董骁毅 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种刻蚀终点检测方法及装置，该刻蚀终点检测方法包括：根据刻蚀脉冲信号的上升沿、光谱仪积分时间和光谱仪信号确定正向光谱积分数据；根据刻蚀脉冲信号的下降沿、光谱仪积分时间和光谱仪信号确定负向光谱积分数据；根据正向光谱积分数据和负向光谱积分数据确定目标光谱信号数据；根据目标光谱信号数据检测刻蚀终点。本发明可以有效过滤等离子体脉冲刻蚀中的背景噪声，实现高精度的脉冲刻蚀终点检测及控制。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 终点 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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